Politechnika Wrocławska Politechnika Wrocławska
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

ul. Janiszewskiego 11/17
50-372 Wrocław

flag     English version of this page
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Laboratorium Urządzeń Elektronooptycznych



Kadra
Kadra
Badania Badania
Laboratorium
Laboratorium
Lokalizacja Lokalizacja
Linki
Linki



Kadra

Witold Słówko prof. dr hab. inż. Witold Słówko
kierownik Laboratorium
tel.: (071) 320-25-39, p.102 C-2
email: witold.slowko@pwr.wroc.pl
dr inż. Włodzimierz Drzazga
tel.: (071) 320-25-39, p.102 C-2
email: wlodzimierz.drzazga@pwr.wroc.pl
Włodzimierz Drzazga
Michał Krysztof dr inż. Michał Krysztof
tel.: (071) 320-27-80, p.102 C-2
email: michal.krysztof@pwr.wroc.pl




Badania

System wielodetektorowy do obrazowania 3D
w warunkach zmiennego ciśnienia i środowiskowych
Frame-grabber

flag Multi-detector system for 3D imaging
in variable pressure and environmental conditions

TSSEd
Obrazowanie trójwymiarowe za pomocą połączonych detektorów elektronowych
w SEM o zmiennym ciśnieniu

flag Three dimentional imaging with combined
electron detector in Variable Pressure / Environmental SEM

Scyntylacyjny system detekcyjny
do badań preparatów wilgotnych w SEM
Frame-grabber

flag Scintillation detector system
for investigations of wet samples in SEM

TSSEd
Rekonstrukcja trójwymiarowa powierzchni z wykorzystaniem
półprzewodnikowego detektora BSE przeznaczonego dla VP SEM

flag Three dimensional surface reconstruction with application
of the semiconductor BSE detector destined for VP SEM

Scyntylacyjny detektor elektronów wtórnych
do Skaningowego Mikroskopu Elektronowego o zmiennym ciśnieniu
Frame-grabber

flag Scintillator secondary electron detector
for Variable Pressure and Environmental SEM

TSSEd
Wyposażenie do klasycznego SEM
umożliwiające badania w gazie

flag Equipment for a classic SEM
enabling environmental techniques

Numeryczne modelowanie przepływu elektronów
w SEM o zmiennym ciśnieniu
Frame-grabber

flag Numerical modelling of electron flow
in the Variable Pressure SEM

TSSEd
Detekcja elektronów w komorze pośredniej
SEM o zmiennym ciśnieniu

flag Electron detection in the intermediate chamber
of the Variable Pressure SEM

Optymalizacja detektora elektronów wtórnych
za pomocą metod Monte Carlo
Frame-grabber

flag Optimization of secondary electron detector
for Variable Pressure SEM with Monte Carlo method

TSSEd
Dwustopniowy detektor
elektronów wtórnych dla ESEM

flag Two-Stage Secondary
Electron Detector for ESEM

Komputerowy system akwizycyjno-wizualizacyjny
do Skaningowego Mikroskopu Elektronowego
Frame-grabber

flag Computer visualization and acquisition
system for a Scanning Electron Microscope

Rekonstrukcja 3D
Trójwymiarowa rekonstrukcja topografii
powierzchni w Skaningowej Mikroskopii Elektronowej

flag Three Dimensional Surface Reconstruction
in Scanning Electron Microscopy

Galeria rekonstrukcji topografii 3D
z użyciem 4-głowicowego detektora scyntylacyjnego
Software

flag 3D topography reconstruction gallery
with the 4-head scintillator detector




Laboratorium

Głównym obszarem działania Laboratorium jest optyka cząstek naładowanych oraz jej zastosowania w odniesieniu do aparatury technologicznej i badawczej ze szczególnym uwzględnieniem:
  • metod projektowania i badania własności układów elektronooptycznych,
  • metod detekcji i przetwarzania sygnałów w skaningowym mikroskopie elektronowym (SEM) w celu uzyskania ilościowych informacji o obiekcie,
  • skaningowej mikroskopii niskoenergetycznej (LESEM),
  • skaningowej mikroskopii niskopróżniowej (LVSEM, ESEM).
MR-11 Wyniki prowadzonych badań naukowych znalazły zastosowanie w licznych opracowaniach złożonej aparatury elektronooptycznej i wyposażenia mikroskopowego, do których należy:
  • seria skaningowych mikroskopów elektronowych o różnym przeznaczeniu, jak:
    • wielozadaniowy mikroskop MR-1,
    • mikroskop MR-11 z czterokanałowym układem detekcji sygnału oraz systemami analogowego i cyfrowego przetwarzania sygnałów, umożliwiający uzyskanie ilościowych informacji o mikro-topografii obiektu,
    • mikroskop MRD-10 przeznaczony do inspekcji struktur półprzewodnikowych, wytwarzanych na płytkach o średnicy do 6'' (150 mm), o wielkogabarytowej komorze przedmiotowej i pięcioosiowym stoliku goniometrycznym
  • zespół detekcji kontrastu napięciowego, umożliwiający obrazowanie i pomiar rozkładu napięć na powierzchni obiektu, z oryginalnym analizatorem energii elektronów,
  • zespół odtwarzania profili powierzchni, umożliwiający ilościowe badania mikrotopografii,
  • komputerowy system trójwymiarowego obrazowania powierzchni z czterokanałowym układem detekcyjnym,
  • system próżniowo detekcyjny umożliwiający pracę standardowego mikroskopu skaningowego w zakresie niskich próżni (do 50 hPa) i obrazowanie preparatów o dużej prężności par.




Lokalizacja


Politechnika Wrocławska
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki

Laboratorium Urządzeń Elektronooptycznych
ul. Janiszewskiego 11/17
50-372 Wrocław
pokoje 101 i 102, Budynek C-2
tel. (0-71) 320-25-39
        (0-71) 320-27-80


Mapa budynków Politechniki Wrocławskiej





Linki


Politechnika Wrocławska - http://www.pwr.wroc.pl

Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki- http://wemif.net

Laboratorium Urządzeń Elektronooptycznych - http://wemif.net/zue

Wrocław - http://www.wroclaw.com




Valid HTML 4.01!
Webmaster
Ostatnia modyfikacja: 30.08.2004